三星率先為DRAM導入EUV：明年將用於DDR5/LPDDR5大規模量產
當前在晶片製造中最先進的EUV製程將被三星率先用到了DRAM顆粒的生產中。這家韓國龍頭今日宣布，已經出貨100萬第一代10nm EUV級（D1x）DDR4 DRAM模組，並完成全球客戶評估，這為今後高階PC、手機、企業級伺服器等應用領域開啟新大門。得益於EUV技術，可以在精度更高的光刻中減少多次圖案化的重複步驟，並進一步提升產能。
三星表示將從第四代10nm級（D1a）DRAM或高階14nm級DRAM開始全面導入EUV，明年採用D1a大規模量產DDR5和LPDDR5晶片，預計會使12寸晶圓的生產率翻倍。
不過目前支援DDR5的PC平台尚未亮相，LPDDR5倒是已經逐漸鋪開。
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