ASML揭秘1.2億美元一台的EUV光刻機：10萬個零件、配送時間長達兩年
荷蘭ASML是全球唯一的EUV光刻機製造商，中芯國際的7nm製程雖然已經技術開發完成，但目前卡脖子的最關鍵一環就是買不到EUV。在最新的媒體交流活動中，ASML技術開發副總裁Tony Yen披露了一些EUV光刻機不為人知的細節。EUV即極紫外光刻，它是藉助13.5nm波長極紫外光在矽晶圓上蝕刻數十億規模的微縮結構。按照Yen的說法，當前ASML的EUV光刻機單台售價1.2億美元左右，由超過10萬個精密零件組成。Yen笑著表示買我們的EUV光刻機可不是今天下單，兩天內送達，通常需要兩年的時間才能配送到貨，發運是需要多達40個集裝箱。
據悉世界上第一台EUV光刻機2010年在三星裝配，第二台2011年進駐台積電。談及摩爾定律，ASML認為至少還能延續10年。
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