Canon、Nikon為何造不出EUV光刻機？ASML說出原因

ASML艾司摩爾已經成為了全球第一大光刻機廠商，而且最尖端的EUV光刻機更是獨家壟斷。

日前，與媒體交流時，ASML技術開發中心副總裁Tony Yen確認了之前外界的猜測，其表示EUV光刻機目前有三大客戶，分別就是台積電、三星及Intel。

至於同樣製造光刻機的Canon、Nikon為何於EUV上掉隊？Tony Yen指出，ASML自2000年左右開發EUV，並決定大批量生產此種光刻機。日本人未這麼做，因為其覺得系統太複雜。

事實上，ASML當時亦非100%確信EUV光刻機會成功。當然，Tony Yen亦提及，EUV光刻機的成功還有蔡司、Cymer（已被ASML收購）等企業參與，其中蔡司獨家向ASML出售半導體相關的曝光產品。

據官方披露的資料，去年全球光刻機總銷售量為413台，其中ASML銷售258台，佔比達62%，Canon銷售122台，佔比為30%，Nikon銷售33台，佔比為8%。

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