據國外媒體報導稱ASML已經確認即將出貨最新的EUV光刻機EXE:5200,相比上代來說,表現更加強悍,當然不會賣給中國廠商。 根據官方的說法EXE:5200是現有初代High NA EUV光刻機EXE:5000的改良款,將擁有更高的晶圓吞吐 ...