近日台積電重申1.4nm製程技術不需要高數值孔徑(High-NA)EUV光刻機,目前找不到非用不可的理由。 台積電在阿姆斯特丹舉行的歐洲技術研討會上重申了長期以來對下一代高NA EUV光刻設備的立場。該公司的下一代製程技 ...