4nm製程下半年量產，Intel的EUV光刻機正式安裝：10億一台

sxs112.tw · 發表於 2022-4-8 19:22:23

根據Intel之前公佈的路線圖，Intel 4製程會是他們首個使用EUV光刻機的製程，下半年量產，他們從ASML購買的EUV光刻機現在正式開始在愛爾蘭的工廠安裝，這是Intel第二個、歐洲首個EUV製程晶圓廠。

Intel前幾年就在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠投資70億美元升級，主要是為Intel 4製程準備的，原先該製程是7nm，去年改名之後就等效於其他廠商的4nm EUV製程了，也是Intel首個使用EUV光刻機的製程。

今年1月底Intel就在Fab 34晶圓廠安裝了光刻膠顯影設備(lithography resist track)，不過它還不是真正的EUV光刻機，現在才開始安裝EUV光刻機，要為下半年的量產做準備了。目前Intel表示約有100多名ASML的工程師進駐工廠協助安裝，同時Intel也從美國俄勒岡州的工廠中派來了工程師培訓愛爾蘭當地的員工，教導他們使用EUV光刻機。

Intel沒有公佈這款光刻機的具體型號，不過ASML最新的EUV光刻機超級貴，均價10億元左右，先進製程晶圓廠的投資都是幾十億美元甚至上百億美元等級的。

Alder Lake 12代Core、Raptor Lake 13代Core都是Intel 7製程(10nm ESF)，Meteor Lake 14代Core和代號Granite Rapids的下下代XEON都將用上Intel 4製程，今年下半年就要量產，不過14代Core上市還要到2023年。

消息來源

clouse · 發表於 2022-4-8 23:59:00

Intel 4製程=7NM

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[業界新聞] 4nm製程下半年量產，Intel的EUV光刻機正式安裝：10億一台

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