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作者: sxs112.tw
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[業界新聞] 三星宣布推出EUV技術製程,明年開始投產

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sxs112.tw 發表於 2017-9-11 20:57:50 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
荷蘭ASML公司製造的EUV光刻機是所有半導體廠商夢寐以求的搶手貨,但製造難度極高的EUV(極紫外)光刻機在據說今年內的年產量只有12台,也就是1個月只有1台能出售給半導體廠商。不過三星始終是三星,在半導體領域的影響力確實是大,今天三星就宣布推出採用EUV技術的11nm LPP和7nm LPP製程,他們的半導體路線圖又向前邁進了一步。
euv.jpg

對比早期的14nm LPP製程,11nm LPP製程性能提升15%,而晶片面積卻降低10%,除了在旗艦手機晶片上使用10nm FinFET製程外,三星還打算將11nm製程處理器使用在中高階手機,11nm製程計劃在2018年上半天投產。三星還證實採用EUV光刻技術的7nm LPP製程晶片正在開發當中,目標是在2018年下半年投產。

自2014年以來,三星已經生產了近20萬塊EUV光刻圓晶,在256MB的SRAM上實現了80%的良品率。三星將在3年內從14nm製程逐步過渡到11nm,10nm,8nm和7nm。有關三星半導體路線圖最新的消息,包括11nm LPP和7nm EUV的開發,三星將在2017年9月15日的日本東京三星半導體技術論壇中詳細講解。

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