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作者: wu.hn8401
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[業界新聞] 三星和LG將用ALD技術產柔性屏 延長使用壽命

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wu.hn8401 發表於 2016-9-26 12:46:15 | 顯示全部樓層 |閱讀模式
三星顯示器公司與LG Display準備在柔性OLED薄膜封裝過程中採用ALD(原子層沉積)技術,兩家公司已經與合作夥伴合作,在內部採購並驗證ALD設備。如果採用ALD技術,就可以更好保護有機材料,減少氧、水的影響,從而提高柔性OLED面板的壽命和性能。

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據產業人士透露,三星顯示器和LG Display正準備在柔性OLED生產流程中採用ALD技術。Jusung Engineering、WONIK IPS、AP System和TES擁有ALD技術和設備。LG Display已經完成對ALD的研究,準備將它用於柔性OLED生產;三星顯示器也在加速部署ALD技術。

兩家公司完成了ALD技術的研發,它們正在考慮實際引入ALD的可能性,因為它們正在向柔性OLED生產設施投資。企業的研發已經完成,開始進入商用階段。

OLED是有機材料,它存在缺陷,比如,OLED對水和氧的防護比較弱。為了保護OLED,製造商會在OLED之上鋪上許多層的薄膜,減少水和氧的侵蝕。具體鋪多少層?不同的製造商有不同的標準,一般而言,製造企業會用一種名叫“Vitex”的方法在OLED之上鋪蓋有機薄膜和無機薄膜,交疊進行,各自3-5層。。

在無機薄膜封裝過程中,企業一般使用PECVD(等離子體增強化學汽相沉積)、濺射、ALD技術;如果是有機薄膜沉澱,使用的是Kateeva的噴墨列印技術。為了生成無機薄膜,三星和LG採用PECVD技術。

為什麼兩家企業現在才考慮用ALD技術替代PECVD?因為壽命和性能對於柔性OLED來說越來越重要。另外,柔性OLED螢幕的生產力下降,需求增長也是一個問題。

ALD技術是CVD(化學蒸汽沉積)技術的一種,它交替噴射原材料(包括ALD金屬和反應氣體)從而形成原子薄膜層。MLD技術(分子層沉積)可以形成有機材料分子層,兩者結合就可以形成多層屏障,保護OLED,使之免受水和氧的侵蝕,即使在低溫下也可以形成。

在螢幕生產過程中引進ALD技術有一些優勢,例如,它可以減少雜質,形成厚度相同的薄膜。ALD技術可以塗上高品質薄膜層,保護效果明顯增強。如果無機薄膜的厚度不同(只有幾納米的差別),層層疊加,總薄膜厚度、滲水率就會受到影響。除此之外,與現有的CVD方法相比,ALD技術還可以採用各種不同的薄膜,這也是它的一個優勢。

半導體產業追求精細工藝,ALD成為它們追捧的對象。不過顯示幕產業一直對ALD保持猶豫態度,因為它的成本比PECVD高,大面積使用也存在一定的問題,沉積速度不夠快。最近一段時間問題已經部分解決,正因如此ALD才會真正投入使用。

一名產業代表稱:“雖然ALD和PECVD不可同日而語,但是ALD的沉積速度比PECVD慢了大約10倍。因為沉積速度慢,生產效率也很低,大面積應用有困難,這些都是主要的障礙,之所以真正引進ALD技術,主是是考慮到它可以形成更薄的高品質薄膜。”

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