ASML表示：Intel 7nm水平高、相當於台積電5nm

半導體進入7nm時代後，荷蘭ASML的EUV光刻機成了不可或缺的機器，當然從進度上來看，台積電、三星進度居前。

日前與媒體交流時ASML技術開發副總裁Tony Yen確認雖然EUV光刻機的主要客戶中有Intel，但並沒有見到該公司在7nm上進行大量生產。他表示目前最先進的量產技術是5nm製程，台積電和三星均已上馬。

但Tony Yen緊接著指出，Intel有著更高的設計規範，因此Intel的7nm就像台積電和三星的5nm。實際上一直以來Intel都強調，關於製程的定義，台積電和三星相對寬泛，Intel則更為嚴格，也就是密度、寬度等指標的要求上。當然對自己高標準是好事，但進度拖泥帶水也是不爭的事實，按照Intel的最新說法，7nm要到2023年才能量產。不出意外的話，這時的台積電和三星都已經量產3nm一年了。

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