中國本土的極紫外線(EUV)光刻技術發展還遠遠不是一個遙遠的夢想。最新系統目前正在華為東莞工廠進行測試,該系統採用雷射誘導放電等離子體 (LDP) 技術,代表了一種具有顛覆性的EUV光生成方法。該系統計劃於2025年 ...